SC-22 Smart Vacuum Gauge

HYBRID RGA & TOTAL PRESSURE

残留ガス成分も測れる真空計

真空装置の健康診断に！

◆残留ガス成分を監視することにより真空装置の健康状態を見守り、異常が直ぐに分かります。

◆これ1台で真空度（全圧）も気体成分（分圧）も測れます。

SC-22 Smart Vacuum Gaugeは、弊社が開発した全く新しい方式の、残留ガス成分と全圧真空度の両方を測れる自動真空計です。

全圧真空度は大気圧から10^-7Paの超高真空まで、ガス成分の分圧は全圧が約50Paになると自動的に開始し、約10-5Paから10-6Paまでの計測が可能です。

Smart Vacuum Gaugeは残留ガスの成分が測定できるので、リークや水蒸気の脱ガスなど真空装置の健全状態を排気の途中で、いち早く知ることができます。
下の2つの図は同じ装置における別の排気データですが、正常な排気を示す図1では水蒸気が主成分で全圧真空度決めているのに対して、図2ではリークのために窒素の下がり排気開始から約5分経過後に止まってしまい、そのまま排気を続けると約10分経過後には窒素が水蒸気よりも多くなり、全圧真空度の下降も止まってしまったことが分かります。
全圧真空度の監視だけでは分からなかった排気異常やその原因をSmart Vacuum Gaugeを使用することにより、いち早く発見することができます。

図1

図2

Smart Vacuum Gaugeを用いればリークがあることが分かるだけではなく、ヘリウムやアルゴンを吹き付けてリークの場所を探すこともできます。
図３はリーク箇所にアルゴンが吹きかけられた時のSmart Vacuum Gaugeのデータですが、アルゴンが増えて窒素が減少したことによりここにリークがあることが分かります。
リークを止めた後は図４のように窒素、酸素が減少して水蒸気が主成分となり、典型的な真空装置の残留ガス成分となったことが分かります。

図3

図4

電源を入れてPCに接続しておくだけで、他の操作は必要ありません。
SC-22に組込まれたフルレンジ真空計は大気圧から超高真空までの全圧を計測し、全圧が約50Paになると残留ガス成分の測定（分圧測定）が自動的に始まります。
大気圧に戻す時も自動的にガス成分測定はOFFになりますので心配はいりません。

計測圧力範囲

残留ガス計測は約50Paの低真空から動作するので、従来のガス分析計（RGA）の動作できない荒引圧力から異常検出やリークチェックができます。

フィラメントが無いので汚れにも強く、切れる心配もありません。 センサーが汚れてもお客様自身で簡単にクリーニングが出来ます。

全圧とガス成分分圧を、バーグラフやトレンドグラフで表示します。 軸の拡大縮小、過去の時間までさかのぼるスクロールが計測中にも行えます。 レコードボタンを押すだけでcsvファイル形式での記録保存ができ、データを後から解析するのに便利です。

OSはWindows 7/8/10/11に対応。

バーグラフモード

トレンドグラフモード

ポータブル

設置は簡単です。センサーを真空装置に取り付けてPCにUSBケーブルで接続し、ACアダプタを繋ぐだけ。
センサーは小型軽量で、Windowsタブレットでも動くので、どこにでも持ち歩いて、簡単に圧力測定、残留ガス計測、リークチェックが行えます。

SC-22は全圧を測定するコールドカソードゲージの放電の色で気体成分を見分けています。
光の色（波長）が気体成分によって異なることを利用して成分を測定しています。
SC-22のスペクトルモード画面で気体成分の波長を見ることも可能です。
気体成分測定部は大気圧側に設けてあるので、真空内の気体で汚染されることもなく、汚れに影響されない測定が可能です。
また、コールドカソードゲージはフィラメントが無いので、丈夫でタフな用途に使用できます。

スペクトルモード画面

アルゴン

窒素

酸素

ヘリウム

水蒸気