真空技術のプロフェッショナル集団があらゆるお悩みを解決いたします。

大気圧から超高真空まで測定する幅広い真空計をラインアップ

チタン製品や、パーティクルフィルタなどのコンポーネントの取り扱いがあります。

電子銃および電源、膜厚計、イオンソース、クライオチラーなど、幅広い真空蒸着用機器の製品群を用意しています

真空技術開発における長年の経験を基礎に、御社の真空技術に関して専門的観点から技術サポートを提供いたします。 以下の例のような内容に関して、コンサルティングあるいは技術受託の形でサービスを行います。

• 真空度(圧力)測りたい
• 真空排気の過程(圧力の下がり方)をリアルタイムグラフで「見たい」「記録したい」
• 真空中のガス成分を知りたい
• 真空排気の異常を監視したい原因を究明したい
• 漏れ(リーク)を測りたい
• 真空計の校正をしたい、相談したい
• 真空の測定について相談したい

• できるだけ高い真空(低い圧力)を作りたい
• 超高真空対応の排気系、ポンプについて知りたい
• ガス放出の少ないチタンチャンバーについて知りたい
• 非磁性体のチャンバーを作りたい水蒸気をトラップしたい
• 効率の良い真空排気装置の設計について知りたい
• 真空全般について相談したい

• 基板クリーニング用イオンソースについて知りたい
• 真空蒸着用の機器について知りたい
• 膜厚制御について知りたい
• 蒸着中の真空の質の監視をしたい
• 蒸着中の水蒸気分圧を下げたい
• 真空漏れ試験について知りたい
• 真空試験について相談したい

大気圧から超高真空までこれ一台で。ワイドレンジ真空計

CC-10 ワイドレンジ真空計での測定圧力をリアルタイムでグラフ表示、記録用ソフトです。

ヘリウム不要、アルゴンや空気で検査できるリークディテクタ

全く新しい方式の、残留ガス成分と全圧真空度の両方を測れる自動真空計です。