ionsource

オーストラリア・Saintech製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。Saintechのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。

SaintechシリーズⅢイオンソースは

8. 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板
9. 極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での

specidication

filla寿命 独自のパワーコントロール方式により、フィラメント寿命が倍（酸素中でも8 - 10H）

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その他プリクリーニング専用の1kW, 1.5kWモデルがございます。