（利用）

真空を使う

（利用）

真空の利用は多岐にわたりますが、特に以下の様な分野について様々な提案をさせて頂きます。

真空蒸着用の機器について知りたい。
(電子銃、膜厚計、アシスト蒸着用イオンソース、クライオチラーなど)

*弊社は米国 TELEMARK 社の真空蒸着機器の正規国内代理店です。
真空蒸着用の電子銃:小型から大型まで(3kW から 20kW、2cc から 1800cc クラス、単発から 15 連等)、研究用超高真空型、生産用高真空型、および専用の電源(4kW から 20kW まで)を取り揃えております。
電子銃へ
水晶膜厚モニタおよび蒸着制御器を用意。蒸着制御器は自動ルツボ切替型の電子銃と組み合わせて、多種物質の多 テキストテキストテキスト テキストテキストテキスト層膜蒸着を完全自動で制御が可能です。
膜厚計ヘ
イオンアシスト真空蒸着用のイオンソース、小型コンパクトながら 800W から 3kW まで。低エネルギーイオン照射による基板クリーニングにも使えます。
イオンソースへ
真空蒸着中の水分分圧を下げることは膜質にとって重要です。特に量産用大型蒸着装置では短時間で水蒸気分圧を下げる必要があります。瞬時に -150°Cまで冷却可能な冷凍機を利用したクライオチラーを用意しております。
クライオチラーへ

蒸着中の真空の質を監視したい。

残留ガスが監視可能な Smart Vacuum Gauge を用いて蒸着中の水蒸気分圧やリークの有無の監視を行えます。蒸着の品質管理やメンテナンス用に便利です。
SC-10ヘ

真空漏れ試験について知りたい。

真空を用いると様々な気密容器の漏れ試験が行えます。弊社のスマートリークディテクタは、従来のヘリウムに変えて入手容易で安価なアルゴンや窒素、あるいは空気を用いて漏れ量を測定できます。
SLD-100へ

真空試験について知りたい、相談したい。

弊社では超高真空から低真空まで様々な真空装置を設備し、お客様の製品の真空中試験をお請け致します。耐真空環境試験、温度サイクル、ガス放出測定など、ご相談ください。
コンサルページへ