CC-10 ワイドレンジ真空計 - VISTA株式会社

真空計、真空ポンプ、真空機器 - 真空技術の専門会社 -
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大気圧から超高真空までを1台の真空計で

クリスタル コールドカソード
コンビネーション オールインワン真空計

CC-10ワイドレンジ真空計は大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。

従来、荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す(パージ)ための真空スイッチ(大気圧センサー)を使用して別々に測定していた圧力計測システムが、このCC-10ワイドレンジ真空計1台で可能になります。

センサーと回路を一体にして、圧力表示も付いています。CC-10を真空チャンバーに接続してDC24Vを供給(ACアダプタもオプションで準備)するだけで、後は何のスイッチ操作もいりません。

大気圧から自動的に測定が開始し、圧力が表示され、また外部へ圧力信号をアナログ出力およびデジタル通信(RS-485)で出力できます。




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<操作不要>
DC24Vを接続するだけで、圧力がデジタル表示されます
大気圧から超高真空まで何の操作も必要なく自動計測
アナログ出力、RS485、セットポイント3点付標準装備

<タフで安全なゲージ>
高真空測定にはB-Aゲージに比べて丈夫なコールドカソード
ゲージを使用しています
高温のフィラメントが無いので安心安全
漏洩磁場が少ない(DIM方式CCG 使用)

<優れた精度と安定性>
ピラニゲージに比べて遥かに安定なクリスタルゲージを大気圧から荒引き圧力の測定に使用しています

<イージーメンテナンス>
ゲージのクリーニング、交換等のメンテナンスが、簡単にお客様ご自身で可能(分解/組み立てはわずか1分)

<アクセサリ、拡張性>
外部表示器、ACアダプタをアクセサリで用意しています

<省エネルギ省スペース>
トランスデューサ型で、省スペース、省配線、省スペース




CC-10ワイドレンジ真空計&データロガーソフトP-LOGGER 紹介動画





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CC-10の大気圧と荒引圧力測定に使用しているクリスタルセンサーは水晶振動子の振動抵抗が圧力によって変化する現象を
利用して圧力を計っています。
熱伝導現象を利用したピラニゲージなどに比べて抜群の安定性を持っています。
このためにチャンバーを大気に戻す(パージ)時の圧力検出に安定して使用できます。
(下図に示すように±1%以内の繰り返し安定性が得られています)
また、温度変化に対する安定性も優れているために、液体窒素の蒸気などの低温ガスに晒されても全く安定に測定ができます。


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圧力測定表示 1.0×10-7Paから大気圧(105Pa)
制御回路

制御回路をセンサーに一体組み込み、プラスチックケース

測定方式

大気圧および荒引き圧力計測に水晶真空センサー使用、高真空計測にダブルインバーティドマグネトロン
方式のコールドカソードゲージを使用、センサーを圧力レンジにより自動切り替え

圧力表示

7セグメントLEDによるデジタル表示を本体に標準装備
オプションにて外部表示機を用意(DC24V駆動)

圧力信号外部出力 アナログ出力0-10V (LOGまたは複合リニア出力を選択可)
セットポイント

3点(ヒステリシス付)標準装備DC50V、0.12A フォトモスリレー
1点は独立、2点はコモン共通

リレーI/O クリスタル0調整、大気圧調整、CCG切替禁止の各入力
デジタルインターフェイス RS-485を標準装備
入力電圧 DC22-26V(100VACアダプタオプションを用意)消費電力MAX8W
使用環境

保管時: -40℃~+55℃ 動作時: 周囲温度max 50℃
ベーキング温度: 制御回路部を外しセンサー単体にて150℃

取り付けフランジ NW25またはCF70(回転)
コネクタ Dsub15ピン(メスコネクタを添付)
重量 840g(NW25フランジ仕様)、 1060g(ICF70フランジ仕様)

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CC-10 寸法

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外部表示器 DS-10

CC-10のアナログ出力を接続して圧力の外部表示が行えます。
コンパクト:W48mm x H48mm x D108mmとコンパクトです。
セットポイントを3点装備(1点独立:AC25V 3A, 2点はコモン側共通:AC25V 1A)。CC-10本体のセットポイントとあわせて合計6点が使用可能になります。

ACアダプタコネクタ付  1C-5

CC-10ワイドレンジ真空計本体およびDS-10表示器にDC24Vを供給するためのAC100Vアダプタです。身近なAC100V電源に接続できるので、DC24V環境のない実験室などに便利です。また、このACアダプタとCC-10を持ち歩けば、どこでも手軽に圧力測定ができますので、CC-10をフィールドサービス用の真空計としてお使いいただけます。

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CC-10用データロガーソフト P-LOGGER

真空計の圧力データをリアルタイムにグラフ表示し、またCSVファイルとして記録します。実験開始圧力に到達した、あるいは想定した時間内に規定圧力に達しないなどの装置の状況を任意の電子メールアドレス宛に即座にお知らせする機能付で、装置から離れている場合に便利です。また、データ測定中にグラフ上の任意の点にマークを付けてコメントを書き込むことができるので、チャートレコーダーのような使い方が可能です。最大16台の真空計まで1台のPCで記録可能。      詳細ページへ

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