クライオチラー

素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます

蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。

クライオチラーシリーズは、

  • クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できます
  • 小さいフットプリント
  • 速いデフロストが可能
  • デジタル制御
  • 2系統の並列経路の冷却が可能、完全独立制御

機種一覧

Model 1200: 1200W, 排気速度：65,000 l/sec 重量：193kg　寸法：559 x 610 x 1511(mm)

Model 1800: 1800W, 排気速度：100,000 l/sec 重量：243kg　寸法：559 x 610 x 1511(mm)

Model 2400: 2400W, 排気速度：135,000 l/sec 重量：243kg　寸法：559 x 610 x 1511(mm)

Model 3000: 3000W, 排気速度：165,000 l/sec 重量：384kg　寸法：599 x 897 x 1784(mm)

Model 3600: 3600W, 排気速度：200,000 l/sec 重量：412kg　寸法：599 x 897 x 1784(mm)

Model 4800: 4800W, 排気速度：270,000 l/sec 重量：449kg　寸法：599 x 897 x 1784(mm)