クライオチラー
素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます
蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。
クライオチラーシリーズは、
- クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できます
- 小さいフットプリント
- 速いデフロストが可能
- デジタル制御
- 2系統の並列経路の冷却が可能、完全独立制御
機種一覧
Model 1200: 1200W, 排気速度:65,000 l/sec 重量:193kg 寸法:559 x 610 x 1511(mm)
Model 1800: 1800W, 排気速度:100,000 l/sec 重量:243kg 寸法:559 x 610 x 1511(mm)
Model 2400: 2400W, 排気速度:135,000 l/sec 重量:243kg 寸法:559 x 610 x 1511(mm)
Model 3000: 3000W, 排気速度:165,000 l/sec 重量:384kg 寸法:599 x 897 x 1784(mm)
Model 3600: 3600W, 排気速度:200,000 l/sec 重量:412kg 寸法:599 x 897 x 1784(mm)
Model 4800: 4800W, 排気速度:270,000 l/sec 重量:449kg 寸法:599 x 897 x 1784(mm)