SaintechシリーズⅢイオンソースは
- 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい
- 独特なイオン源デザイン(特許)で非常に小さなサイズながら
大きなイオン電流が広範囲に得られます
- 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70~80℃)基板
への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無で
メンテナンスフリーです
- 極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での
動作が可能
- 特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化による
チャージアップが無く安定な運転が可能
- スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます
- パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージ
モードの運転切替が可能
- RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です
- イオンカレントモニタをオプションで用意しております
イオン電流のフィードバック制御が可能
機種 | Mini-Gun | XIAD | ST55 | ST3000 |
最大パワー |
800W | 1,000W | 1,500W | 3,000W |
最大イオン電流 | 4A | 5A | 7A | 10A |
イオンエネルギー | 90~225eV | 225eV | 225eV | 300eV |
寸法、重量 | Φ50mm xL60mm 0.5kg | Φ60mm x L60mm 1kg | Φ75mm x L70mm 1.4kg | Φ115mm x L85 3.0kg |
※Mini-GunはUHV仕様
※その他プリクリーニング専用の1kW, 1.5kWモデルがございます。