イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します
オーストラリア・Saintech製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。Saintechのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。
SaintechシリーズⅢイオンソースは
- 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい
- 独特なイオン源デザイン（特許）で非常に小さなサイズながら
大きなイオン電流が広範囲に得られます
- 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板
への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無で
メンテナンスフリーです
- 極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での
動作が可能
- 特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化による
チャージアップが無く安定な運転が可能
- スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます
- パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージ
モードの運転切替が可能
- RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です
- イオンカレントモニタをオプションで用意しております
イオン電流のフィードバック制御が可能
独自のパワーコントロール方式により、フィラメント寿命が倍（酸素中でも8 - 10H）
他社製品：酸素ではステンレス、アルゴンにはグラファイト部品を推奨
Saintech Ion Sourceは全てのガスに対して同じアノードで対応可能
TiNのハードコーティングにより、酸素イオンでの連続運転でも安定
通常数10秒から1分近く掛かる安定時間がわずか数秒
高いイオン生成効率とアノードの直接冷却方式により、室温に近い動作が可能。輻射熱による膜へのダメージやチャンバーの
ガス放出が最小（他社製品例：500～1000℃ Saintech：70～80℃）
低温動作でアノードなど内部部品へのダメージが小さく交換が不要のため、メンテナンスコストが激減
（消耗品のフィラメント以外、部品交換不要）
5つの特許を有するユニークな電極構造により、少ないガス流量（約1桁）で同じイオンビームが得られる。
従って、低い圧力で動作が可能。
小型、軽量なのでチャンバー取り付けの自由度が高い
傾斜可能なタッチスクリーンによる容易な操作
16個の運転プログラムの保存が可能
マルチモード運転
独特の異常放電抑制回路
冷却水モニタによる水冷状態の監視
オプションにてイオンカレントモニタを用意しております
イオン電流のフィードバック制御が可能
| 機種 | Mini-Gun | XIAD | ST55 | ST3000 |
|
最大パワー |
800W | 1,000W | 1,500W | 3,000W |
| 最大イオン電流 | 4A | 5A | 7A | 10A |
| イオンエネルギー | 90～225eV | 225eV | 225eV | 300eV |
| 寸法、重量 | Φ50mm xL60mm 0.5kg | Φ60mm x L60mm 1kg | Φ75mm x L70mm 1.4kg | Φ115mm x L85 3.0kg |
※Mini-GunはUHV仕様
※その他プリクリーニング専用の1kW, 1.5kWモデルがございます。
戻る
HOME
TOP
