光学式リークディテクタ
各種サーチガスを使用可能!
・高価で枯渇の恐れのあるヘリウムガス不要
・検査時間の短縮、簡略化が可能
・高度なスキル不要
・リーク量の正確な定量が可能
高価で枯渇の恐れのあるヘリウムガス不要
・アルゴンガスや大気(窒素)を用いてリークテスト可能
検査時間の短縮、簡略化が可能
・低真空領域(約50Pa)からテスト可能
・ガス抜けが早く、検査タクトの短縮化が可能
・サーチガス変更はワンタッチ
⇒大気中の窒素を用いてリークの有無や全リーク量を確認後、
アルゴンモードに切替えてリーク箇所の特定が可能
高度なスキル不要
・エラストマーへの吸収や透過が無いので、確実な漏れ検知が可能
リーク量の正確な定量が可能
・標準コンダクタンス素子を用いた大気圧空気(窒素)のリーク標準を実現
・空気校正値からアルゴンガス等への換算が可能
・水没法に比べ簡単かつ短時間で確実な定量が可能
各種気体を放電させると、それぞれ固有の光を発します。これらの光の波長ごとのスペクトル強度を測定することにより、各種気体の分圧を測定することができます。この分圧からそれぞれの気体の漏れ量を算出します。
光を計測するので低真空まで容易に測定することが可能です。
(右図は各種気体の発光色例です。)
右図は、既知のコンダクタンスを有する素子を用いて、大気圧の空気により感度校正を行った後、アルゴンガスを用いてどの程度正確に漏れ量を測定できるか確認したグラフです。大気で一度校正するだけで窒素やアルゴン等のガス種によらず、10-8Pa・m3/sまで正確に測定することが可能です。
項目 | 仕様値 |
検出可能漏れ量 |
10-2 ~ 10-8Pa・m3/s |
最大稼働圧力 |
約50Pa |
サーチガス |
Ar、Air(N2),他 |
分析方法 | 光学式 |
標準校正器 | 標準コンダクタンス素子 |
表示・操作部 | グラフィック表示付ハンドヘルド型 |