SLD-200 Smart Leak Detector

新世代のリークディテクタ

・高価で枯渇の恐れのあるヘリウムガス不要
・検査時間の短縮、簡略化が可能
・高度なスキル不要
・リーク量の正確な定量が可能

・アルゴンガスや大気（窒素）を用いてリークテスト可能

・低真空領域（約50Pa）からテスト可能・ガス抜けが早く、検査タクトの短縮化が可能・サーチガス変更はワンタッチ ⇒大気中の窒素を用いてリークの有無や全リーク量を確認後、アルゴンモードに切替えてリーク箇所の特定が可能

・エラストマーへの吸収や透過が無いので、確実な漏れ検知が可能

・標準コンダクタンス素子を用いた大気圧空気（窒素）のリーク標準を実現・空気校正値からアルゴンガス等への換算が可能・水没法に比べ簡単かつ短時間で確実な定量が可能

左図は既知のコンダクタンスを有する素子を用いて大気圧の空気により感度校正を行った後、アルゴンガスを用いてどの程度正確に漏れ量を測定できるか確認したグラフです。
大気で一度校正するだけで窒素やアルゴン等のガス種によらず、10^-9Pa・m³/sまで正確に測定することが可能です。

TITLE	DETAILS
項目	仕様値
検出可能漏れ量	10^-2～ 10^-9Pa・m³/s
最大稼働圧力	約50Pa（但しターボ分子ポンプの許容排気流量以下）
サーチガス	Ar、Air（N2）,他
分析方法	光学式ガスセンサーによる各種ガス漏れ量の定量測定方式
標準校正器	標準コンダクタンス素子
表示・操作部	21.5インチ大型タッチパネルディスプレー

各種気体を放電させると、それぞれ固有の光を発します。
これらの光の波長ごとのスペクトル強度を測定することにより、各種気体の分圧を測定することができます。
この分圧からそれぞれの気体の漏れ量を算出します。
光を計測するので低真空まで容易に測定することが可能です。（左図は各種気体の発光色例です。）