真空の中では多くの気体分子が空間を飛びまわり、ぶつかり合い、壁に吸着したり、壁から脱離したりなどの動きをし ています。中には外から漏れてきた分子、壁から染みだした分子なども有ります。これらの挙動を知り、装置内の真 空の姿を正しくとらえるために、真空度(圧力)や真空の質(残ったガスの種類)の測定について、様々な提案をいたします。
真空の中では多くの気体分子が空間を飛びまわり、ぶつかり合い、壁に吸着したり、壁から脱離したりなどの動きをし ています。中には外から漏れてきた分子、壁から染みだした分子なども有ります。これらの挙動を知り、装置内の真 空の姿を正しくとらえるために、真空度(圧力)や真空の質(残ったガスの種類)の測定について、様々な提案をいたします。